Категория слушателей

К освоению программы допускаются лица, имеющие или получающие высшее и (или) среднее профессиональное образование.

- общие положения о назначении, целях, возможностях программы и условиях, предоставляемых слушателям для обучения;

Должность: специалисты в области эксплуатации инженерных систем производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем



Цель реализации программы

Программа предназначена для повышения квалификации целевой группы «Специалисты в области эксплуатации инженерных систем производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем».

В результате освоения программы слушатель получит следующие профессиональные компетенции и научится:

v Определять назначение и состав инженерных систем подготовки и распределения технологических сред (ТС) исходя из технологических требований производства нано размерных полупроводниковых приборов и интегральных схем

v Эксплуатировать системы производства и распределения деионизованной воды (ДИВ) для обеспечения требуемых режимов работы производственного технологического оборудования, использующего для своей работы деионизованную воду, в производстве нано размерных полупроводниковых приборов и интегральных схем

v Планировать и проводить инструментальный контроль параметров деионизованной воды в системе ее доставки и распределения.

v Эксплуатировать системы производства и распределения жидких химических реактивов (ЖХР) для обеспечения требуемых режимов работы производственного технологического оборудования, использующего для своей работы ЖХР, в производстве нано размерных полупроводниковых приборов и интегральных схем

v Планировать и проводить инструментальный контроль параметров жидких химических реактивов в системах их доставки и распределения.

v Эксплуатировать системы производства и распределения магистральных и специальных газов для обеспечения требуемых режимов работы производственного технологического оборудования, использующего для своей работы СМГ, в производстве нано размерных полупроводниковых приборов и интегральных схем

v Планировать и проводить инструментальный контроль параметров магистральных и специальных газов в системах их доставки и распределения

v Рассчитывать необходимую производительность вытяжных систем для удаления загрязненного химическими соединениями воздуха для выполнения санитарно-гигиенических и технологических требований



Содержание программы



МДК 1 Назначение и состав инженерных систем подготовки и распределения технологических сред (ТС) исходя из технологических требований производства нано размерных полупроводниковых приборов и интегральных схем
Тема 1.1 Основные ТС, применяемые в технологии производства ИС
Тема 1.2 Влияние параметров ТС на технологию и приборы микро и наноэлектроники. Динамика требований к параметрам ТС в связи с развитием технологий микро и нано электроники Тема
1.3 Общие сведения о физических принципах создания ТС. Основные методы создания ТС, применяемые в микро и нано электронике
Тема 1.4 Основные способы доставки ТС к производственному оборудованию в микро и нано электронике
Тема 1.5 Контроль качества технологических сред. Общие сведения
МДК 2 Эксплуатация систем производства и распределения деионизованной воды для обеспечения требуемых режимов работы производственного технологического оборудования, использующего для своей работы деионизованную воду, в производстве нано размерных полупроводниковых приборов и интегральных схем
Тема 2.1 Назначение систем производства, доставки и распределения деионизованной воды. Марки деионизованной воды.
Тема 2.2 Основные потребители деионизованной воды. Состав систем производства, доставки и распределения деионизованной воды.
Тема 2.3 Правила эксплуатации систем производства, доставки и распределения деионизованной воды
МДК 3 Планирование и проведение инструментального контроля параметров деионизованной воды в системе ее доставки и распределения.
Тема 3.1 План контроля. Размещение стационарного контрольно-измерительного оборудования. Размещение точек отбора проб.
Тема 3.2 Проведение пробоотбора и замер параметров деионизованной воды. Основные методы замеров.
МДК 4 Эксплуатация систем производства и распределения жидких химических реактивов для обеспечения требуемых режимов работы производственного технологического оборудования, использующего для своей работы ЖХР, в производстве нано размерных полупроводниковых приборов и интегральных схем
Тема 4.1 Назначение систем производства, доставки и распределения жидких химических реактивов.
Тема 4.2 Основные потребители жидких химических реактивов. Состав систем производства, доставки и распределения жидких химических реактивов.
Тема 4.3 Правила эксплуатации систем производства, доставки и распределения жидких химических реактивов.
МДК 5 Планирование и проведение инструментального контроля параметров жидких химических реактивов в системах их доставки и распределения.
Тема 5.1 План контроля. Размещение стационарного контрольно-измерительного оборудования. Размещение точек отбора проб.
Тема 5.2 Проведение пробоотбора и замер параметров жидких химических реактивов. Основные методы замеров.
МДК 6 Эксплуатация систем производства и распределения магистральных и специальных газов для обеспечения требуемых режимов работы производственного технологического оборудования, использующего для своей работы СМГ, в производстве нано размерных полупроводниковых приборов и интегральных схем
Тема 6.1 Назначение систем производства, доставки и распределения магистральных и специальных газов.
Тема 6.2 Основные потребители магистральных и специальных газов. Состав систем производства, доставки и распределения магистральных и специальных газов.
Тема 6.3 Правила эксплуатации систем производства, доставки и распределения магистральных и специальных газов.
МДК 7 Планирование и проведение инструментального контроля параметров магистральных и специальных газов в системах их доставки и распределения
Тема 7.1 План контроля. Размещение стационарного контрольно-измерительного оборудования. Размещение точек отбора проб.
Тема 7.2 Проведение пробоотбора и замер параметров магистральных и специальных газов. Основные методы замеров.
МДК 8 Расчет необходимой производительности вытяжных систем удаления, загрязненного химическими соединениями воздуха для выполнения санитарно-гигиенических и технологических требований Тема 8.1 Допустимые уровни молекулярных загрязнений воздуха. Концентрация выделяемых химреактивов.
Тема 8.2 Методы очистки воздуха от молекулярных загрязнений. Состав и необходимая производительность вытяжных систем.