Эксплуатация систем производства и распределения магистральных и специальных газов для обеспечения требуемых режимов работы производственного технологического оборудования, использующего для своей работы СМГ, в производстве нано размерных полупроводниковых приборов и интегральных схем
Форма обучения: очно, дистанционно
Количество слушателей в группе для дистанционного обучения: 5-12
Количество часов: 36
Категория слушателей
К освоению программы допускаются лица, имеющие или получающие высшее и (или) среднее профессиональное образование.
Модуль может быть использован в составе программ бакалавриата и магистратуры по направлениям «Конструирование и технология электронных средств» и «Электроника и наноэлектроника» как дисциплина по выбору студента или факультатив, программ дополнительного образования повышения квалификации в области технологии производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем, а также как самостоятельный курс кратковременного повышения квалификациидля ведущих инженеров и специалистов производственно-эксплуатационных подразделений (служб) в промышленности, инженеров-механиков, инженеров-технологов, инженеров-электроников, инженеров-строителей, инженеров по организации эксплуатации и ремонту.
Должность: инженер-механик, инженер-технолог, инженер по организации эксплуатации и ремонту, инженер-электроник
Планируемые результаты обучения
В результате освоения программы слушатель будет:
Знать:
Марки специальных и магистральных газов;
Технические требования к специальным и магистральным газам;
Воздействие основных параметров СМГ на качество выпускаемой продукции;
Состав и принцип работы систем производства и распределения СМГ в микро- и наноэлектронике;
Методы создания и аттестации систем производства и распределения СМГ в микро- и наноэлектронике;
Технические требования к системам производства и распределения СМГ в микро- и наноэлектронике;
Правила техники безопасности при выполнении работ на инженерных системах в условиях действующего производства;
Технические регламенты эксплуатации и обслуживания инженерного оборудования и коммутационных магистралей, составляющих инженерную систему производства и распределения СМГ;
Порядок обращения с нормативно-технической документацией (НТД);
Перечень параметров СМГ, подлежащих периодическим замерам и «on-line» контролю и требования к ним;
Технические регламенты эксплуатации и обслуживания инженерного оборудования и коммутационных магистралей, составляющих инженерную систему производства и распределения СМГ;
Техническое описание/инструкции по обслуживанию инженерного оборудования и коммутационных магистралей, составляющих инженерную систему производства и распределения СМГ;
Сроки службы расходных материалов в составе инженерного оборудования при его эксплуатации;
Правила техники безопасности при выполнении работ на инженерных системах в условиях действующего производства;
Содержание и требования Чек-листов и регламента;
Порядок обращения с нормативно-технической документацией (НТД);
Порядок ведения записей в процессе ТО системы ДИВ;
Порядок выполнения работ по техническому обслуживанию оборудования системы СМГ в процессе его эксплуатации;
Типичные неисправности системы СМГ и порядок действий по устранению;
Алгоритм поиска и устранения неисправностей в инженерных системах производства и распределения СМГ, выявленных в результате контроля;
Состав и принцип работы систем производства и распределения СМГ в микро- и наноэлектронике;
Перечень параметров СМГ, подлежащих периодическим замерам и «on-line» контролю и требования к ним;