Категория слушателей

К освоению программы допускаются лица, имеющие или получающие высшее и (или) среднее профессиональное образование.

Должность: инженеры-технологи процессов жидкостной химической обработки кремниевых пластин

Планируемые результаты обучения

В результате освоения программы слушатель будет:

Знать:

Классификация процессов химико-механической планаризации, применяемых в технологии производства изделий микро- и наноэлектроники;

Методы измерения характеристик пленок до и после процесса химико-механической планаризации;

Классификация, типы и назначение приборов и оборудования для измерения толщины тонких пленок;

Методы визуализации результатов измерений, полученных после процесса химико-механической планаризации;

Методы статистической обработки результатов измерений, полученных после процесса химико-механической планаризации;

Методика математического расчета значений параметров, полученных по результатам обработки выходных параметров;

Зависимости кинетических факторов от параметров процесса химико-механической планаризации.

Уметь:

Составлять план экспериментальной работы и отчетную документацию по итогам ее проведения;

Моделировать результаты процесса химико-механической планаризации;

Задавать рабочие параметры и режимы технологического процесса химико-механической планаризации;

Определять методы контроля и контролируемые параметры процесса химико-механической планаризации;

Оценивать и интерпретировать результаты процесса химико-механической планаризации слоев кремниевых пластин;

Классификация методов статистического контроля параметров технологических процессов химико-механической планаризации;

Методы измерения характеристик пленок до и после процесса химико-механической планаризации.