Категория слушателей

К освоению программы допускаются лица, имеющие или получающие высшее и (или) среднее профессиональное образование.

Модуль может быть использован в составе программ бакалавриата и магистратуры по направлениям «Конструирование и технология электронных средств» и «Электроника и наноэлектроника» как дисциплина по выбору студента или факультатив, программ дополнительного образования повышения квалификации в области технологии производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем, а также как самостоятельный курс кратковременного повышения квалификациидля ведущих инженеров и специалистов производственно-эксплуатационных подразделений (служб) в промышленности, инженеров-механиков, инженеров-технологов, инженеров-электроников, инженеров-строителей, инженеров по организации эксплуатации и ремонту.

Должность: инженер-механик, инженер-технолог, инженер по организации эксплуатации и ремонту, инженер-электроник

Планируемые результаты обучения

В результате освоения программы слушатель будет:

Знать:

Марки деионизованной воды;

Технические требования к жидким химическим реактивам;

Матрица потребления ЖХР технологическим оборудованием;

Воздействие основных параметров ЖХР на качество выпускаемой продукции;

Состав и принцип работы систем производства и распределения ЖХР в микро- и наноэлектронике;

Методы создания и аттестации систем производства и распределения ЖХР в микро- и наноэлектронике;

Технические требования к системам производства и распределения ЖХР в микро- и наноэлектронике;

Правила техники безопасности при выполнении работ на инженерных системах в условиях действующего производства;

Технические регламенты эксплуатации и обслуживания инженерного оборудования и коммутационных магистралей, составляющих инженерную систему производства и распределения ЖХР;

Порядок обращения с нормативно-технической документацией (НТД);

Перечень параметров ЖХР, подлежащих периодическим замерам и «on-line» контролю и требования к ним;

Технические регламенты эксплуатации инженерного оборудования и коммутационных магистралей, составляющих инженерную систему производства и распределения ЖХР;

Техническое описание/инструкции по обслуживанию инженерного оборудования и коммутационных магистралей, составляющих инженерную систему производства и распределения ЖХР;

Сроки службы расходных материалов в составе инженерного оборудования при его эксплуатации;

Правила техники безопасности при выполнении работ на инженерных системах в условиях действующего производства;

Содержание и требования Чек-листов и регламента;

Порядок обращения с нормативно-технической документацией (НТД);

Порядок ведения записей в процессе ТО системы ДИВ;

Порядок выполнения работ по техническому обслуживанию оборудования системы ЖХР в процессе его эксплуатации;

Типичные неисправности оборудования системы ЖХР и порядок действий по их устранению;

Алгоритм поиска и устранения неисправностей в инженерных системах производства и распределения ЖХР, выявленных в результате контроля;

Состав и принцип работы систем производства и распределения ЖХР в микро- и наноэлектронике;

Перечень параметров ЖХР, подлежащих периодическим замерам и «on-line» контролю и требования к ним;

Матрицу потребления ЖХР технологическим оборудованием;

Контрольно-измерительные приборы систем производства и распределения ЖХР;

Порядок поверки, калибровки и сервисного обслуживания КИП;

Порядок съема и фиксирования параметров ЖХР;

Алгоритм поиска и устранения неисправностей в инженерных системах производства и распределения ЖХР, выявленных в результате контроля;

Объемы потребления ЖХР технологическим оборудованием;

Методы инструментального контроля параметров ЖХР

Уметь:

Формировать технические требования к параметрам ЖХР в соответствии с требованиями технологических процессов, в которых ЖХР применяется;

Составлять технологическую схему производства ЖХР в соответствии с требуемыми параметрами ЖХР;

Составлять рабочие инструкции по эксплуатации систем производства и распределения ЖХР в микро- и наноэлектронике и выполнять их на практике;

Составлять Чек-лист проверки работы системы производства и распределения ЖХР с малой и средней периодичностью;

Составлять регламент оперативного технического обслуживания (ТО) системы производства и распределения ЖХР с малой и средней периодичностью;

Выполнять работы по техническому обслуживанию оборудования системы ЖХР в процессе его эксплуатации и фиксировать результаты в журналах контроля;

Определять порядок действий по результатам контроля параметров системы производства и распределения ЖХР;

Определять проектные параметры (производительность) системы подготовки и распределения ЖХР на основе анализа эксплуатационной документации;

Управлять параметрами системы подготовки и распределения ЖХР на основе данных КИП.