Категория слушателей

К освоению программы допускаются лица, имеющие или получающие высшее и (или) среднее профессиональное образование.

Курс рекомендован специалистам по разработке производственных технологий в области микро и нано электроники и специалистов в области производства наноразмерных полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Должность: инженеры-технологи процессов ХМП.

Планируемые результаты обучения

В результате освоения программы слушатель будет:

Знать:

Содержание операций процессов жидкостной обработки кремниевых пластин в маршруте производства изделий микро- и наноэлектроники;

Классификация процессов жидкостной химической обработки кремниевых пластин в маршруте производства изделий микро- и наноэлектроники;

Химические реакции технологического процесса жидкостного травления слоёв в маршруте производства изделий микро- и наноэлектроники;

Образование полимерных остатков и способы их удаления на различных этапах маршрута производства изделий микро- и наноэлектроники;

Требования охраны труда при проведении процессов жидкостной химической обработки кремниевых пластин при производстве изделий микро- и наноэлектроники;

Классификация и характеристики жидких химических реактивов для процессов жидкостной химической обработки кремниевых пластин в технологии микро- и наноэлектроники

Уметь:

Составлять технологическую схему процесса жидкостной химической обработки кремниевых пластин;

Выбирать оборудование для реализации процессов жидкостных химических обработок в производстве изделий микро- и наноэлектроники;

Определять меры безопасности при проведении процессов жидкостной химической обработки кремниевых пластин при производстве изделий микро- и наноэлектроники;

Управлять процессами жидкостной химической обработки на основе статистического регулирования;

Разрабатывать и апробировать рецепты технологических операций жидкостных химических обработок;

Выбирать жидкие химические реактивы для жидкостных химических обработок;

Подбирать технологические параметры процессов жидкостных химических обработок кремниевых пластин при производстве изделий микро- и наноэлектроники.